基于莫尔信号的超精密复合定位研究

作     者：徐慧 张金龙 刘京南 内田敬久 郭怡倩 Xu Hui;Zhang Jinlong;Liu Jingnan;UCHIDA Yoshihisa;Guo Yiqian

作者机构：南京师范大学电气与自动化工程学院江苏南京210042 东南大学自动化学院江苏南京210096 日本爱知工业大学智能机械工学科 

基　　金：国家863计划项目(2005AA303610) 江苏省自然科学基金项目(BK2009406) 

出 版 物：《南京师范大学学报（工程技术版）》 (Journal of Nanjing Normal University(Engineering and Technology Edition))

年 卷 期：2011年第11卷第1期

页      码：33-38页

摘      要：应用光学理论研究了透射式激光莫尔信号的位移特性,建立了衍射莫尔信号强度与对应位移的数学模型,并通过计算机仿真对莫尔信号的位移特性进行了研究.在此基础上设计了一套基于激光莫尔信号的超精密定位系统,系统取透射的零次莫尔信号为控制信号,由微机控制实现高精度位置检测及精密自动定位.针对精密定位高精度与大行程之间的矛盾,提出了一种利用一对细光栅实现复合定位的解决方法,通过粗定位和精定位相结合的两段式复合定位,可保证在较大的信号捕捉范围内,实现高速高精度定位.由于系统仅使用一对光栅,结构简单、可靠性高.实验结果表明,基于一对衍射细光栅的复合式精密定位可在±500μm信号捕捉范围获得±10nm的定位精度,对精密加工工程领域具有重要的实用价值.

主 题 词：衍射光栅 莫尔信号 纳米定位 复合控制 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0835[0835] 081002[081002] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-1292.2011.01.007

馆 藏 号：203149100...