一台400keV离子注入机的光路设计

作     者：王克明 刘清前 张乃健 陈鄂生 张永恩 

作者机构：山东大学物理系 

出 版 物：《山东大学学报（自然科学版）》 (Journal of Shandong University(Natural Science Edition))

年 卷 期：1989年第24卷第1期

页      码：49-56页

摘      要：本文给出了一台400keV离子注入机的物理设计总体方案。根据设计指标,详细计算了该机主要部件的参数。经调试,各项指标达到设计要求。

主 题 词：离子注入机 光路设计 后加速方法 

学科分类：08[工学] 082701[082701] 0827[工学-食品科学与工程类] 

核心收录：

馆 藏 号：203150010...