硅片传输单元洁净系统的研制

作     者：丛明 杜宇 沈宝宏 CONG Ming;DU Yu;SHEN Bao-hong

作者机构：大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室辽宁大连116023 

基　　金：国家863高技术发展计划资助项目(2004AA420040) 大连市科技计划项目(2004A1GX086) 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2006年第31卷第9期

页      码：656-659页

摘      要：在集成电路制造的硅片传输过程中,硅片传输机器人等机械设备的运动会产生尘埃粒子污染硅片。为解决这一问题,设计并研制了硅片传输单元的洁净系统,分析了该洁净系统的设计方案和结构设计,计算了它的送回风管直径,并用计算流体力学的方法,对洁净系统内部的硅片传输机器人区域进行了流场的模拟分析。该洁净系统已达到设计要求。

主 题 词：硅片传输单元 洁净系统 结构设计 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2006.09.005

馆 藏 号：203150067...