激光检测原子力显微镜的改进——振荡工作模式

作     者：徐海 韩宝善 戴长春 黄桂珍 王培森 

作者机构：中国科学院物理所磁学国家重点实验室北京100080 中国科学院化学所本原显微仪器开发中心北京100080 

出 版 物：《真空科学与技术》 (Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：1999年第19卷第1期

页      码：1-5页

摘      要：针对一些特殊材料表面形貌的检测需要 ,在原有国产商用激光检测原子力显微镜的基础上 ,设计研制了适用性更广、功能更强的原子显微镜。在不提高驱动电压的前提下 ,采用改进的扫描管 ,将扫描范围从 15μm× 15μm提高到了 50 μm× 50 μm ;改进了原有的微探针扫描模式 ,在探针上施加一驱动的简谐振荡信号 ,使探针发生振荡。由于存在着表面的力梯度 ,当样品与探针距离发生振荡变化时 ,针尖振荡的振幅、频率和位相都会随之改变。用电子信号反馈电路探测此变化 。

主 题 词：扫描隧道显微镜 原子力显微镜 振荡模式 激光 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.1999.01.001

馆 藏 号：203150206...