一种基于DVD读取头的非接触触发探头

作     者：高伟 陈晓怀 李瑞君 程真英 GAO Wei;CHEN Xiao-huai;LI Rui-jun;CHENG Zhen-ying

作者机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院安徽合肥230009 

基　　金：国家自然科学基金(51275148 50875073) 

出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)

年 卷 期：2014年第35卷第1期

页      码：30-33页

摘      要：提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头，该探头由商用DVD读取头改装而成，已经完成其设计与制作。实验结果表明探头分辨率优于2nm，测量重复性可达20nm，目前已应用于纳米三坐标测量机上。

主 题 词：计量学 DVD光学读取头 非接触探头 纳米三坐标测量机 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0703[理学-化学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-1158.2014.01.07

馆 藏 号：203150422...