MEMS压阻式加速度传感器的优化设计

作     者：杜春晖 何常德 葛晓洋 于佳琪 熊继军 张文栋 DU Chunhui;HE Changde;GE Xiaoyang;YU Jiaqi;XIONG Jijun;ZHANG Wendong

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学测试技术重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家"八六三"计划基金资助项目(2011AA040404) 国家自然科学基金资助项目(51075375) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2012年第34卷第6期

页      码：848-852页

摘      要：提出了一种新型的MEMS压阻式加速度传感器,该传感器采用"四悬臂梁-质量块"结构,16个压敏电阻完全对称布放于悬臂梁上应力变化的线性区,既提高了传感器的灵敏度,又降低了轴间耦合度和非线性度。通过与八悬臂梁结构的仿真对比,得出该传感器具有更高的抗横向耦合性,约为八悬臂梁结构的30倍。

主 题 词：电阻对称分布 抗耦合性 压阻式 三维 加速度传感器 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2012.06.011

馆 藏 号：203151108...