抗反射亚波长光栅的特性研究

作     者：王植恒 傅克祥 文军 王磊 袁景和 Wang Zhiheng;Fu Kexiang;Wen Jun;Wang Lei;Yuan Jinghe

作者机构：四川大学物理系 

基　　金：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室资助 中国工程物理研究院第二研究所资助 

出 版 物：《激光技术》 (Laser Technology)

年 卷 期：1999年第23卷第1期

页      码：34-37页

摘      要：利用矢量衍射理论的数值求解方法，研究了亚波长光栅结构参数对反射率的影响，特别是基底厚度对反射率的影响，这些为设计和制作具有优良的抗反射性能的二元光学元件提供了设计依据。

主 题 词：亚波长光栅 矢量衍射 抗反射 光学仪器 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3806.1999.01.007

馆 藏 号：203151743...