椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理

作     者：刘卓健 唐振方 孙汪典 

作者机构：暨南大学物理系广东广州510632 

出 版 物：《表面技术》 (Surface Technology)

年 卷 期：2003年第32卷第2期

页      码：57-60页

摘      要：详尽介绍了椭偏法测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法 ,采用一种数字迭代计算方法 ,由测量得到的起偏角P和检偏角A直接算出所测薄膜的折射率和厚度。经过数值试验及与标准值对比 ,由此编制的计算程序具有准确、快速。

主 题 词：椭偏测量 数据处理 程序设计 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2003.02.020

馆 藏 号：203151779...