直拉硅单晶热场加热器设计分析

作     者：黄建明 杨晓欣 

作者机构：上海东洋炭素有限公司上海201611 

出 版 物：《炭素技术》 (Carbon Techniques)

年 卷 期：2013年第32卷第6期

页      码：29-32页

摘      要：通过对直拉硅单晶热场及加热器的分析,提出了加热器的设计原则和电阻计算方法。并对加热器使用过程中的常见问题进行了分析,并提出了解决方案,提升了加热器的使用寿命,提高了单晶棒的品质。

主 题 词：热场 加热器 电阻 直脚加热器 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.14078/j.cnki.1001-3741.2013.06.012

馆 藏 号：203151913...