差分式MEMS面内加速度计设计

作     者：董胜飞 石云波 周智君 李策 李祥 DONG Shengfei;SHI Yunbo;ZHOU Zhijun;LI Ce;LI Xiang

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室太原030051 中北大学仪器与电子学院太原030051 

基　　金：国家"十二五"装备预研项目 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2014年第27卷第7期

页      码：893-897页

摘      要：设计了一种新型差分式大量程MEMS加速度计,实现了面内大过载信号的测试。首先利用MATLAB软件结合理论原理,设计了具体的结构参数,利用ANSYS有限元分析软件验证了结构设计的合理性。将本差分式MEMS面内加速度计结构用于集成三轴传感器,3个敏感质量块可以分别感应3个方向的加速度而不会相互影响,可以有效解决传感器体积大以及轴间交叉干扰的难题。

主 题 词：差分式 面内加速度计 高量程 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2014.07.008

馆 藏 号：203151963...