多探头扫描探针显微镜系统

作     者：戴长春 SU Xiao-di Hou Tee Ng Li Fong Yau Sam 

作者机构：中国科学院化学研究所北京100080 InstituteofMaterialsResearchandEngineeringsingapore117602 DepartmentofChemistryNationalUniversityofSingaporesingapore119260 

出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期：2003年第22卷第3期

页      码：247-251页

摘      要：虽然扫描探针显微镜具有高分辨率等优异性能 ,但不足之处也显而易见。较低的扫描和采样速度使工作效率不高。多探针或多探头的概念就是为提高扫描探针显微镜的工作效率而提出的。为了摸索多探头扫描探针显微镜的特点和解决半导体工业晶片检测的实际需求 ,我们设计了四探头SPM。本文主要介绍我们研制的四探头扫描探针显微镜系统 。

主 题 词：扫描探针显微镜 探头 SPM 分辨率 硬件控制器 样品移动平台 图像分析 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-6281.2003.03.016

馆 藏 号：203152000...