高灵敏度QVBA限位结构设计研究

作     者：林丙涛 周倩 曾小珊 唐光庆 满欣 周本清 李海 LIN Bingtao;ZHOU Qian;ZENG Xiaoshan;TANG Guangqing;MAN Xin;ZHOU Benqing;LI Hai

作者机构：中国电子科技集团公司第26研究所重庆400060 中国人民解放军驻重庆气体压缩机厂军事代表室重庆400050 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2014年第36卷第4期

页      码：572-574,579页

摘      要：石英振梁加速度计(QVBA)具有检测精度高、准数字输出的特点,灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题,设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片,既可对石英摆片的最大位移量进行限制以提高器件的抗冲击性能,又可增加石英摆片振动过程中的阻尼力以提高器件的抗振动性能,降低了加速度计一阶模态谐振频率的限制条件,有效提高了加速度计的灵敏度。最后依据加速度计的结构特点设计出了相应的工艺制作方案,并加工出了差分结构的加速度计样机,经测试其灵敏度为65.74Hz/g,10min零位稳定性为15.8μg。

主 题 词：石英振梁加速度计 限位片 灵敏度 差分 阻尼 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2014.04.022

馆 藏 号：203153493...