纳米压痕法研究PZT压电薄膜的力学性能

作     者：蒋锐 胡小方 许晓慧 伍小平 JIANG Rui;HU Xiao-fang;XU Xiao-hui;WU Xiao-ping

作者机构：中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系合肥230027 

基　　金：国家自然科学基金重点项目(10232030) 

出 版 物：《实验力学》 (Journal of Experimental Mechanics)

年 卷 期：2007年第22卷第6期

页      码：575-580页

摘      要：PZT压电薄膜的力学性能如弹性模量、硬度等对于MEMS器件的结构设计、结构响应特性、服役性能等尤为重要。薄膜材料由于尺寸效应、表面效应等的作用,力学性能与宏观块体材料有显著差异。本文用纳米压痕法获得了PZT压电薄膜的弹性模量和硬度,考察了基底的影响,分析了退火时间对于其力学性能的影响,以及硬度和压入深度之间的压痕尺度效应。

主 题 词：PZT压电薄膜 纳米压痕法 压痕尺度效应 

学科分类：07[理学] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 070205[070205] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 080102[080102] 0801[工学-力学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-4888.2007.06.004

馆 藏 号：203154714...