一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器

作     者：曹新亮 黄宝瑞 CAO Xin-liang;HUANG Bao-rui

作者机构：延安大学物理与电子信息学院陕西延安716000 

基　　金：陕西省教育厅资助项目(12JK0495) 延安大学自然科学基金重点资助项目(YDK2011-07) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2014年第33卷第9期

页      码：71-73页

摘      要：设计一种湿度传感器。该传感器选用聚酰亚胺作为湿度传感器的感湿介质,采用叉指电容式结构以增加感湿灵敏度,以电荷转移电路为微电容测量电路,用0.35μm多晶硅栅进行设计,形成单片集成湿度传感器。整个组成电路均与CMOS工艺兼容。仿真结果表明:在测量激励方波激励下,片上湿度传感器在27℃下模拟显示出较好的直流电压输出特性。

主 题 词：CMOS兼容工艺 介电常数 湿敏电容器 电荷转移 电压输出 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2014)09-0071-03

馆 藏 号：203155023...