差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性（英文）

作     者：邢永豪 谢波 陈健 陈德勇 王军波 Xing Yonghao;Xie Bo;Chen Jian;Chen Deyong;Wang Junbo

作者机构：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100049 

基　　金：supported by National Natural Science Foundation of China(61431019,61372054) National Basic Research Program of China(2014CB744600) Beijing Municipal Science and Technology Commission(D11110100160000) 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2016年第28卷第6期

页      码：159-164页

摘      要：谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构,差分谐振式具有灵敏度高、线性度好及温度漂移小等优势。然而,要获得差分谐振式压力微传感器的最优性能,仍需解决差分谐振梁灵敏度不匹配的问题。在仿真与实验的基础上,对差分谐振式压力微传感器的灵敏度匹配特性进行了相关研究。根据研究结果,对传感器的结构参数进行了优化设计。两谐振梁的设计灵敏度为±46 Hz/kP,实验结果显示中心梁的实际灵敏度为45Hz/kPa,边梁的实际灵敏度为-44Hz/kPa,差分输出的线性度高达0.999 999 9。

主 题 词：微机电系统 谐振式压力传感器 差分频率 灵敏度匹配 双谐振器 有限元分析 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.11884/hplpb201628.064130

馆 藏 号：203155082...