基于电荷流动晶体管的新型气敏传感器

作     者：谢丹 蒋亚东 姜健壮 吴志明 李言荣 

作者机构：电子科技大学信息材料工程学院成都610054 山东大学化学系济南250100 

基　　金：教育部基金 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2001年第22卷第7期

页      码：933-937页

摘      要：在通常的 MOSFET基础上 ,根据电荷流动电容器原理 ,设计了一种新型的栅区开槽的电荷流动场效应管(CFT) ,并以一种新型有机半导体材料——三明治型稀土金属元素镨双酞菁配合物 (Pr[Pc(OC8H1 7) 8]2 为气敏材料 ,取代栅极中的间隙位置 .利用 L B超分子薄膜技术 ,将 Pr[Pc(OC8H1 7) 8]2 以 1∶ 3的配比与十八烷醇 (OA)混合的 L B多层膜 (Pr[Pc(OC8H1 7) 8]2 - OA)拉制在 CFT上 ,形成了一种新型的具有 CFT结构的 L B膜 NO2 气敏传感器 .当对该器件加一栅压 VGS时 (大于阈值电压 ) ,由于高阻敏感膜充电达 VGS需要一段时间 ,因而漏电流出现延迟现象 .这种弛豫与 NO2 气体浓度有关 ,室温下探测灵敏度可达 5 ppm

主 题 词：气体传感器 电荷流动晶体管 MOSFET LB膜 二氧化氮 镨双酞菁配合物 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-4926.2001.07.024

馆 藏 号：203155331...