基于红外热效应的电容式气体传感器研究

作     者：张正勇 杨地委 ZHANG Zheng-yong;YANG Di-wei

作者机构：中国科学院合肥物质科学研究院合肥智能机械研究所安徽合肥230031 安徽省仿生感知与先进机器人技术重点实验室安徽合肥230031 传感技术联合国家重点实验室安徽合肥230031 中国科学技术大学信息科学技术学院自动化系安徽合肥230027 

基　　金：国家"863"计划资助项目(2007AA04Z332) 国家自然科学基金重点资助项目(50534050) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2011年第30卷第4期

页      码：31-33,36页

摘      要：提出了一种利用气体吸收红外并产生热效应现象检测气体的方法,设计并制造了一种红外电容式气体传感器。该气体传感器采用在密封气室中密封纯净的被测气体,利用被测气体吸收红外的热效应并由此产生压力变化,该压力变化转换为弹性应变膜的应变致使平板电容器的电容变化,由于环境中被测气体与密封气室中被测气体对红外的差分吸收,使得电容的变化量与环境中被测气体的体积分数相关。对甲烷气体的实验结果表明:其检测下限为100×10-6,分辨率为50×10-6。

主 题 词：气体传感器 红外热效应 电容 红外差分吸收 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2011.04.010

馆 藏 号：203155412...