一种基于惯性致动的四足压电移动机器人研究

作     者：李运菲 祝锡晶 李婧 高国栋 LI Yunfei;ZHU Xijing;LI Jing;GAO Guodong

作者机构：中北大学先进制造技术山西省重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家自然科学基金(51975540) 先进制造技术山西省重点实验室(中北大学)2022年度开放基金(XJZZ202202) 山西省基础研究计划项目(202203021222041) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2024年第46卷第5期

页      码：741-746,754页

摘      要：设计了一种基于压电双晶梁的L型压电驱动器,基于模块化设计思想将L型压电驱动器应用于压电移动机器人的研制。压电移动机器人由4个周向分布的L型压电驱动器和连接平台组成,结构简单紧凑,可实现2自由度平面内大范围高精运动。对压电移动机器人进行加工和装配,并搭建测试平台对压电移动机器人的运动输出特性进行实验研究。测试结果表明,压电移动机器人具有兼顾高精度、快速度、高稳定性和强承载能力的良好综合性能,其运动分辨率为1μm,最大运动速度可达46 mm/s,承载能力可达75 g,在微纳操作、晶圆缺陷检测和超精密加工领域具有广阔的应用前景。

主 题 词：惯性致动 微型机器人 压电驱动器 模块化设计 运动特性 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 081105[081105] 080501[080501] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0825[工学-环境科学与工程类] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2024.05.021

馆 藏 号：203155623...