纳米电机驱动大行程超精密工作台的设计研究

作     者：范伟 余晓芬 奚琳 Fan Wei;Yu Xiaofen;Xi Lin

作者机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院合肥230009 

基　　金：国家自然科学基金国际重大合作项目(编号:50420120134) 

出 版 物：《电子测量与仪器学报》 (Journal of Electronic Measurement and Instrumentation)

年 卷 期：2008年第22卷第2期

页      码：42-45页

摘      要：介绍了一种由压电陶瓷拨爪电机驱动的一维纳米级定位精度工作台的工作原理及其设计。压电陶瓷拨爪电机可以避免使用传统的粗精两级定位机构,直接实现纳米级驱动定位。针对压电陶瓷拨爪电机的特性,设计了低摩擦的磁悬浮导轨,并采用分体式结构和柔性铰链,将驱动系统与定位工作台隔离,从而有效减少了压电陶瓷拨爪电机在驱动时产生的高频震动对定位精度的影响。固定在工作台上的直光栅实现了对工作台位移的高精度闭环检测。经测试,工作台可以实现0-200mm范围,10nm分辨率的快速、高精度定位,满足纳米测量的要求。

主 题 词：压电陶瓷拨爪电机 纳米工作台 磁悬浮导轨 柔性铰链 光栅 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13382/j.jemi.2008.02.003

馆 藏 号：203155653...