射频CO_2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析

作     者：侯廉平 陈陪峰 王圩 

作者机构：中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心北京100083 华中科技大学激光工程研究院湖北武汉430074 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2004年第12卷第1期

页      码：37-42页

摘      要：介绍了RFCO2激光陶瓷基板划片的特点。分析了导光系统的设计原则,着重讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点。对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图。试验结果和理论相符,系统划片速度可达10m/min,划缝宽度0.3mm。

主 题 词：激光加工设备 陶瓷基板 划片机 光路 设计 导光系统 

学科分类：080706[080706] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2004.01.008

馆 藏 号：203155929...