电容式压力传感器微电容测量集成电路的研制

作     者：茅盘松 朱静远 华俊歧 

作者机构：东南大学 

出 版 物：《传感器技术》 (Journal of Transducer Technology)

年 卷 期：1993年第12卷第5期

页      码：13-21页

摘      要：采用开关电容技术的Boxcar(时域平均)积分原理设计,为测量电容式压力传感器的微电容的接口电路已提出。它由Boxcar积分器,锁存器,脉冲宽度调制器和控制信号电路组成。该接口电路,采用3μm P-阱CMOS双层多晶硅栅工艺研制,管芯面积为2.5mm×3.5mm.测试结果表明,接口电路具有较好的灵敏度,它能将硅集成电容式压力(加速度)传感器集成在同一芯片上,实现一体化。

主 题 词：开关电容 压力传感器 电容测量 IC 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.13873/j.1000-97871993.05.003

馆 藏 号：203156105...