基于引线键合的高速高精度微动台结构设计与分析
作者机构：广东工业大学省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室广州510006
基 金：国家自然科学基金项目(52075106 52375488)
出 版 物：《组合机床与自动化加工技术》 (Modular Machine Tool & Automatic Manufacturing Technique)
年 卷 期：2024年第12期
页 码：96-102页
摘 要：由压电陶瓷驱动的柔性微动台在高速精密定位领域占有重要地位,针对引线键合过程焊头会产生过冲对芯片冲击,降低芯片质量的问题,提出了一种基于压电陶瓷驱动的微动台的焊头过冲补偿原理,设计了一种基于弹簧-放大机构复合结构高速高精度微动台。对微动台进行理论分析和有限元分析,结果表明,微动台放大比为4.02倍,一阶固有频率为683.57 Hz,且在动态运动下最大应力满足材料要求。得到施加弹簧的微动平台比没有施加弹簧的微动平台复位速度提高了100μs,证实了弹簧-放大机构复合结构的有效性。最后,搭建实验系统实验,得到平台实际放大倍数为3.6倍,并具有良好的信号跟踪性能。微动台满足高速高精度定位要求。
学科分类：08[工学] 080203[080203] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学]
D O I：10.13462/j.cnki.mmtamt.2024.12.019
馆 藏 号：203156268...
