基于硅波导分布布拉格取样光栅的四通道Ⅲ-V/Si激光器阵列

作     者：贾艳青 王海玲 孟然哲 张建心 周旭彦 JIA Yanqing;WANG Hailing;MENG Ranzhe;ZHANG Jianxin;ZHOU Xuyan

作者机构：山东师范大学物理与电子科学学院济南250358 中国科学院半导体研究所固态光电信息技术重点实验室北京100083 潍坊学院物理与电子信息学院潍坊261061 潍坊先进光电芯片研究院潍坊261021 

基　　金：国家重点研发计划(No.2022YFB2803100) 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2024年第53卷第11期

页      码：104-114页

摘      要：提出了一种波长间隔0.8 nm的四通道Ⅲ-V/Si激光器阵列。在四通道硅波导表面设计了两组分布布拉格取样光栅,分别作为前反射镜和后反射镜,形成Ⅲ-V/Si激光器的谐振腔。优化设计分布布拉格取样光栅的参数,选择四个通道的取样光栅的一阶子光栅对应的波长进行振荡和输出。采用直接晶片键合技术,将图案化的绝缘体上硅晶片和Ⅲ-V外延晶片非集成在一起,实现了Ⅲ-V波导与硅波导的自对准和高效倏逝波耦合。在室温下连续波条件下,制备的四通道Ⅲ-V/Si激光器阵列的硅波导输出功率均大于0.7 mW@60 mA,阈值电流均小于25 mA,激射波长分别为1 569.64 nm、1 570.45 nm、1 571.27 nm和1 572.08 nm,波长间距为0.8 nm±0.2 nm。这种四通道Ⅲ-V/Si激光器阵列经优化后可应用于密集波分复用硅光学系统。

主 题 词：取样光栅 分布布拉格反射 直接晶片键合 硅基激光器阵列 异质集成 倏逝波耦合 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20245311.1114002

馆 藏 号：203156311...