空腔型薄膜体声波滤波器的关键技术进展
作者机构：华南理工大学集成电路学院广州511442 华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室广州510640 广州市艾佛光通科技有限公司广州510700
基 金：国家重点研发计划(2022YFB3604500 2022YFB3604501)
出 版 物：《无机材料学报》 (Journal of Inorganic Materials)
年 卷 期：2025年第40卷第2期
页 码：128-144页
摘 要：随着通信技术升级以及5G通信应用的驱动,各种智能设备所需的滤波器数量激增,促进了滤波器市场的繁荣,但对其性能要求也越来越高,例如大带宽、高频率、高功率容量、微型化、集成化以及低成本等指标是学术界与产业界重点关注的方向,而基于薄膜体声波谐振器(Thin Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)技术的FBAR滤波器已成为最有前景的滤波器之一。另外,当前空腔型FBAR滤波器已取得了一定的商业成功,但是仍面临性能不足、工艺复杂、成本略高、技术受限等困境。为此,本文试图从器件理论研究与结构优化、高性能压电材料制备与优化、新型工艺开发及技术融合三方面对FBAR滤波器的相关问题与关键技术进行综述,旨在为该研究领域的学者梳理FBAR滤波器技术进阶与迭代的脉络,以期为未来研究的路径与方向提供若干启发性思考。
主 题 词：FBAR滤波器 理论研究 AlN压电薄膜 技术融合 综述
学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学]
核心收录：
D O I：10.15541/jim20240355
馆 藏 号：203156394...
