FIB/SEM双束系统样品旋转器研制

作     者：郭海林 王大森 王伟 黄思玲 夏超翔 赵仕燕 GUO Hailin;WANG Dasen;WANG Wei;HUANG Siling;XIA Chaoxiang;ZHAO Shiyan

作者机构：中国兵器科学研究院宁波分院浙江宁波315103 南京理工大学机械工程学院南京210094 浙江大学光电科学与工程学院极端光学技术与仪器全国重点实验室杭州310027 

基　　金：国家基础加强计划技术领域基金项目(2022-JCJQ-JJ-0139) 

出 版 物：《实验室研究与探索》 (Research and Exploration In Laboratory)

年 卷 期：2024年第43卷第12期

页      码：39-42,63页

摘      要：针对聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统中样品工作台无法实现回转微小特征结构的定位、成像和多自由度加工等难题,研制真空环境下基于步进电动机驱动的高精度样品旋转器。采用NX10.0计算机辅助设计软件建立样品旋转器三维数字模型;开展运动部件的运动模拟仿真,避免了工作时出现运动干涉情况;采用ANSYS有限元软件对其关键部组件的静动态特性进行仿真分析和优化,保证了该部件的工作精度和工作强度的要求,样品旋转器的最大转速为30 r/min,角度分辨率达到了0.0014°。所研制的样品旋转器具有精度高、操作简单等特点,为聚焦离子束加工下一代高精度三维微纳光子集成器件提供了参考。

主 题 词：FIB/SEM双束系统 微小特征结构 样品旋转器 有限元分析 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.19927/j.cnki.syyt.2024.12.009

馆 藏 号：203156409...