新型微机电系统的光纤传感器设计及应用

作     者：吴勇翀 刘艳峰 WU Yong-chong;LIU Yan-feng

作者机构：江西科技学院南昌330098 延安大学物理与电子信息学院陕西延安716000 

基　　金：国家自然科学基金(61379026)资助 陕西省科学技术研究发展计划项目(工业攻关)(2014K05-61)资助 陕西省教育厅2011年科学研究项目计划(11JK0915)资助 陕西省高水平大学建设专项资金资助项目(物理学2012SXTS05)资助 延安大学大学物理实验精品课程(YDJPKC11-21)资助 

出 版 物：《光通信技术》 (Optical Communication Technology)

年 卷 期：2016年第40卷第6期

页      码：47-49页

摘      要：设计了一种新型的微腔加速度光纤传感器,采用了Si基底上设计一圆柱形MIM波导的结构,通过检测光纤单直波导输出端口处波长的漂移量,实现对加速度的检测。理论计算和仿真结果验证得到:在加速度每增加10g的情况下,输出光谱图约向右漂移3nm,加速度与谐振波长漂移量基本呈线性关系;微纳光纤传感器的灵敏度较高,能够实现较好的加速度传感器。

主 题 词：微电子机械系统 传感器 MIM波导 微纳光纤 

学科分类：0711[理学-心理学类] 07[理学] 08[工学] 070105[070105] 081101[081101] 0701[理学-数学类] 071101[071101] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2016.06.014

馆 藏 号：203156633...