可编程相位光栅的结构设计与制作工艺

作     者：殷玲 陈非凡 

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系北京100084 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(69978008) 教育部高等学校骨干教师资助计划资助项目 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2003年第43卷第8期

页      码：1009-1012页

摘      要：可编程相位光栅技术在光通讯领域有较广的应用,也可作为微型光谱仪的新颖色散器件。该文设计了一种基于MEMS的可编程相位光栅,其特征参数可以通过编程控制和改变。通过经典理论建模与分析,设计了可编程相位光栅的结构;并对光栅的光带结构参数进行了优化,从而有利于可编程相位光栅功能的实现,提高了制作的可靠性和成功率;设计了针对可编程相位光栅的表面硅微工艺,并对改善应力、去牺牲层和防粘连等关键问题进行了分析,改进了工艺,成功研制出样品,其结构尺寸约为4mm×6mm,有效工作部分的面积约为4mm×2mm.

主 题 词：可编程相位光栅 结构设计 制作工艺 MEMS 光带结构 表面硅微工艺 微光机电系统 光通讯 

学科分类：080903[080903] 0810[工学-土木类] 070207[070207] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0701[理学-数学类] 0812[工学-测绘类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-0054.2003.08.005

馆 藏 号：203156901...