用于光刻机物镜像差补偿的透射式变形镜设计

作     者：邹有云 布一帆 杜文杰 邓杰 马剑强 ZOU Youyun;BU Yifan;DU Wenjie;DENG Jie;MA Jianqiang

作者机构：宁波大学机械工程与力学学院浙江宁波315211 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(52475109) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2024年第46卷第6期

页      码：995-1000页

摘      要：针对深紫外光刻机物镜工作一段时间后存在的低阶像差问题,提出了一种大口径、小变形量、高精度的透射式变形镜结构。通过有限元对变形镜的校正性能进行仿真,确定了致动器数目、玻璃厚度、内外环的宽度。仿真结果表明,重构Z3-Z9项Zernike像差,归一化残余误差小于0.2%,整体满足193 nm DUV光刻机物镜像差的校正。研究了重力场及热吸收对透镜像差的影响,两者均为离焦像差最大但数值较小,可被变形镜校正。

主 题 词：DUV光刻机物镜 变形镜 像差校正 

学科分类：080903[080903] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2024.06.026

馆 藏 号：203156993...