Zr-V-Fe吸气剂动态真空维持性能

作     者：唐丽军 王婧华 曹青 王旭迪 TANG Lijun;WANG Jinghua;CAO Qing;WANG Xudi

作者机构：合肥工业大学机械工程学院合肥230009 浙江光电子研究院金华321004 

基　　金：国家重点研发计划项目(2023YFC2205702) 国家自然科学基金面上项目(62271187) 国家自然科学基金青年基金项目(62101172) 中央高校基本科研业务经费项目(JZ2024HGTG0307) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2025年第45卷第1期

页      码：1-7页

摘      要：吸气剂是密闭空间真空长寿命维持的关键,当环境条件发生改变时会导致吸气材料吸放气特性剧烈变化,进而影响真空度,因此研究温度影响下的吸气剂动态真空维持特性具有重要意义。文章利用差压法系统在密闭空间中对不同吸气饱和度的Zr-V-Fe吸气剂进行加热,研究吸气饱和度和温度对密闭空间真空动态演化性能的影响。实验结果表明,在温度升高情况下,吸气剂能够在较长时间内有效维持腔室内真空度。吸气剂饱和度越高,可吸收气体的内部空间越小,则真空维持性能越差;在一定临界温度下,较高的温度会加快气体的扩散速率,提高吸气剂的吸气性能,从而提升维持性能。本研究有助于深入理解吸气剂的真空维持性能,对无源真空系统优化设计和性能提升提供理论和实验依据。

主 题 词：非蒸散型吸气剂 差压法 真空维持性能 吸气性能测试 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjvst.202408009

馆 藏 号：203157079...