径向涡轮分子泵叶片结构优化及仿真分析

作     者：谢元华 佟英博 谢天意 王桂鹏 窦仁超 孟冬辉 刘坤 孙立臣 闫荣鑫 XIE Yuanhua;TONG Yingbo;XIE Tianyi;WANG Guipeng;DOU Renchao;MENG Donghui;LIU Kun;SUN Lichen;YAN Rongxin

作者机构：东北大学机械工程与自动化学院沈阳110819 北京卫星环境工程研究所北京100094 

基　　金：国家自然科学基金项目(U22A20179) 北京卫星环境工程研究所创新基金项目(CAST-BISEE 2019-024) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2025年第45卷第1期

页      码：36-42页

摘      要：涡轮分子泵广泛应用于大科学装置、核物理工业、半导体及薄膜工业。径向涡轮分子泵转子叶列结构简单,叶列排气端呈圆弧形外扩排布,有利于叶片间气体粒子正向传输,提升了抽气效率。文章以径向结构涡轮分子泵为研究对象,基于稀薄气体传输理论,采用数学粒子追踪方法,对9种不同形状的叶片结构进行对比分析,使用COMSOL软件模拟不同叶片结构下叶列间气体粒子的正、反向传输几率,探究叶片形状对气体粒子正、反向传输几率和压缩比的影响。结果表明,涡轮分子泵转子叶片一侧为弧形凸面结构,另一侧为平面结构时,分子泵的压缩比提升1个数量级,分子泵性能显著提升。研究对涡轮分子泵的设计与优化具有一定的参考价值和指导意义。

主 题 词：涡轮分子泵 径向 叶片形状 传输几率 压缩比 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjvst.202404007

馆 藏 号：203157090...