高频高压电极测温薄膜温度传感器的研制与应用

作     者：霍海林 常蕾 朱昱 李雪松 房健 

作者机构：核工业理化工程研究院 北京长城计量测试技术研究所 

出 版 物：《中国计量》 (China Metrology)

年 卷 期：2025年第1期

页      码：82-86,89页

摘      要：针对电子束物理气相沉积(EB-PVD)系统高压带电极板的温度准确测量技术难题,文章结合EB-PVD系统中电极性能的需求研制模拟电极,设计了一种适用于高压电极测温的新型薄膜温度传感器,利用磁控溅射技术进行传感器镀制,利用表面温度校验仪进行传感器标定。试验验证表明:薄膜温度传感器可用于高压电极温度的精确测量,最优测量精度MPE为±1.8℃,为高压电极测温提供了一个新的技术手段。

主 题 词：计量学 电子束物理气相沉积 EB-PVD 电极 薄膜温度传感器 

学科分类：08[工学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

D　O　I：10.16569/j.cnki.cn11-3720/t.2025.01.016

馆 藏 号：203157100...