静电驱动微镜参数激励下的亚谐振动分析

作     者：李徐 冯晶晶 郝淑英 胡文华 LI Xu;FENG Jingjing;HAO Shuying;HU Wenhua

作者机构：天津理工大学天津市先进机电系统设计与智能控制重点实验室天津300384 天津理工大学机电工程国家级实验教学示范中心天津300384 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(12072233,12072234) 天津市自然科学基金资助项目(20JCYBJC00510) 

出 版 物：《振动工程学报》 (Journal of Vibration Engineering)

年 卷 期：2025年第38卷第2期

页      码：242-248页

摘      要：参数振动广泛存在于多物理场耦合的微机电系统中。为研究静电驱动微镜系统中存在的参数共振非线性动力学问题,以一类静电梳齿驱动微镜为例,通过七次多项式拟合梳齿电容变化并建立微镜动力学模型,研究不同因素下系统的参数共振响应变化。研究了静态下微镜结构参数变化对扭转角度的影响规律;应用多尺度法分析了谐振状态下系统参数对共振幅值变化的影响规律并对系统参数共振进行了数值验证;最后利用Runge-Kutta法对系统亚谐参数共振的稳定性进行了分析与验证。研究表明:微镜系统存在亚谐参数共振,激励电压、电容拟合参数等因素会影响系统共振幅值;阻尼可以改变系统不稳定区域,提高失稳阈值,影响系统亚谐参数共振发生。

主 题 词：非线性振动 参数共振 微镜 多尺度法 数值验证 

学科分类：08[工学] 080101[080101] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.16385/j.cnki.issn.1004-4523.2025.02.003

馆 藏 号：203157515...