线性可控电热式MEMS微镜设计与仿真分析

作     者：张博伦 李庆党 祝方舟 ZHANG Bolun;LI Qingdang;ZHU Fangzhou

作者机构：青岛科技大学机电工程学院青岛266100 青岛科技大学中德科技学院青岛266100 

出 版 物：《计算机与数字工程》 (Computer & Digital Engineering)

年 卷 期：2025年第53卷第1期

页      码：71-76页

摘      要：论文对MEMS微镜领域电热式偏转结构的基础上,提出了一种全新的悬臂梁式MEMS微镜结构设计,并且对该结构的电热选材进行了对比,在同等电压下,不同加热材料会出现不同的结构形变,同时对MEMS微镜悬臂梁结构进行了尺寸仿真优化,最终该MEMS微镜能够实现随着施加的电压变化,微镜偏转的角度线性可控。

主 题 词：微机电系统 线性可控 电热式微镜 多层结构 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-9722.2025.01.015

馆 藏 号：203157529...