超微型硅压阻传感器的设计构想

作     者：曹洪清 

作者机构：徐州发电厂 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：1994年第10卷第6期

页      码：37-41页

摘      要：从单晶硅压阻式压力传感器的机芯设计、结构设计、半导体平面工艺及温度补偿等几个方面，较为全面地论述了超微型硅压阻压力传感器的设计构想。主要指出设计思路、设计原则及较为特殊的设计方法。

主 题 词：硅压阻传感器 温度补偿 压力传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13290/j.cnki.bdtjs.1994.06.010

馆 藏 号：203157706...