基于COMSOL的四极磁场消像散仿真分析

作     者：李少林 唐英杰 王郡宇 

作者机构：桂林电子科技大学机电工程学院广西桂林541004 

基　　金：国家自然科学基金项目(61741126) 广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任基金(14-045-15-011Z) 

出 版 物：《装备制造技术》 (Equipment Manufacturing Technology)

年 卷 期：2025年第1期

页      码：1-6页

摘      要：随着电子束在先进精密制造技术行业的广泛应用,对电子束束斑的质量表现出更高的需求。在工业电子枪中,为了提高电子束的束斑质量,针对电子束加工过程中产生的椭圆形畸形,提出四极磁场消像散技术。先设计四极磁场线圈方案,建立四极磁场线圈几何模型,然后利用COMSOL仿真,探究四极磁场的消像散效果与消像散线圈内径、厚度、电流之间的规律。四极磁场电流增大时,线圈的中心磁场强度增大,消像散线圈的消像散效果增强;四极磁场内径增大时,线圈的中心磁场强度减小,且磁场的均匀度和对称性会降低,消像散线圈消像散效果降低;四极磁场厚度增大时,线圈的中心磁场强度减小,对电子束的轨迹与束斑进行仿真模拟,厚度增加时,电子束在线圈中运动时间较长,所以消像散线圈消像散效果反而增大。

主 题 词：四极磁场 消像散 COMSOL仿真 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-545X.2025.01.001

馆 藏 号：203157973...