电芬顿CMP抛光液中磨粒的分散性研究及中性环境下绿色抛光液的设计

作     者：成锋 王子睿 朱睿 王永光 彭洋 张天宇 赵栋 樊成 CHENG Feng;WANG Zirui;ZHU Rui;WANG Yongguang;PENG Yang;ZHANG Tianyu;ZHAO Dong;FAN Cheng

作者机构：苏州大学机电工程学院江苏苏州215021 

基　　金：国家自然科学基金(52375458,51775360,51501121,U1533101) 中国博士后科学基金(2015M571800) 江苏省博士后科学基金(1402121C) 江苏省研究生科研与实践创新计划项目(KYCX23_3236) 

出 版 物：《金刚石与磨料磨具工程》 (Diamond & Abrasives Engineering)

年 卷 期：2025年第45卷第1期

页      码：113-121页

摘      要：芬顿反应是一种能产生强氧化性羟基自由基(·OH)的绿色氧化反应,选用三聚磷酸钠(STPP)为外加电解质、金刚石为磨粒,比较STPP、NaCl和Na_(2)SO_(4)对芬顿反应中金刚石磨粒分散稳定性的影响,并研究该绿色抛光液在不同pH值下对电芬顿抛光液中金刚石磨粒的抗沉降能力、Zeta电位以及抛光液粒径的影响,并对GaN晶圆的抛光效果进行验证。结果表明:STPP能与芬顿反应抛光液中的Fe^(2+)络合,防止多余的金属阳离子流入扩散层,提高了金刚石磨粒的分散稳定性,且STPP能有效改善芬顿反应抛光液中金刚石磨粒团聚的现象;此外,STPP使抛光液能在偏中性环境中具有较好的分散性,且含有STPP的绿色抛光液可在中性环境下实现对GaN晶圆高效、无损的超精密抛光。

主 题 词：芬顿反应 电化学机械抛光 金刚石磨粒分散 三聚磷酸钠 GaN 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 080502[080502] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0242

馆 藏 号：203157984...