基于毫米波透射法的空间分辨等离子体参数测试方法研究

作     者：郝泽宇 高天丰 陈飞宇 朱军锋 HAO Zeyu;GAO Tianfeng;CHEN Feiyu;ZHU Junfeng

作者机构：中国电子科技集团公司第四十一研究所电子测试技术重点实验室山东青岛266555 

基　　金：集团稳定支持经费项目(JTA2022WDZC202419) 青岛市博士后资助项目(QDBSH20220201022) 国家自然科学基金(62127804)资助 

出 版 物：《电子质量》 (Electronics Quality)

年 卷 期：2025年第2期

页      码：56-59页

摘      要：等离子体参数的测定是发展先进制造工业关键技术所要解决的关键问题之一。目前,复杂应用场景下的等离子体参数测试普遍采用微波透射法,但其仅能获得测试路径内的平均等离子体电子密度,无法获得等离子体的空间分辨测试结果,难以满足实际工业生产需要。为了解决上述问题,设计了一种等离子体参数瞬态太赫兹波透射测试方法,将测试频率提高至毫米波频段,通过获得穿过等离子体的太赫兹波透射信号,能够反演等离子体电子密度的空间分布,实现空间分辨的等离子体参数测量。

主 题 词：毫米波 等离子体 电子密度 空间分辨 

学科分类：080904[080904] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 070204[070204] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-0107.2025.02.011

馆 藏 号：203158007...