基于多目标遗传算法的硅微机械电容式麦克风优化设计

作     者：董健 王伟 计时鸣 

作者机构：浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室杭州310014 

基　　金：浙江省自然科学基金资助项目(Y107445) 浙江省重中之重学科开放基金资助项目(20060313) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2011年第22卷第4期

页      码：394-397页

摘      要：介绍了一种基于多目标遗传算法的硅微机械电容式麦克风优化设计方法。以复合敏感膜参数、底板参数以及敏感膜与底板间距为设计变量,麦克风灵敏度、最大工作电压、工作频率带宽为优化设计目标,采用多目标遗传算法求出Pareto最优解集。在所求出的Pareto最优解集中选择一组最符合设计要求的解作为麦克风的设计参数。

主 题 词：硅微机械电容式麦克风 多目标优化 遗传算法 Pareto最优解集 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203158073...