大气机械手控制器的设计与实现

作     者：宋乐 

作者机构：沈阳新松机器人自动化股份有限公司辽宁 沈阳 110168 

出 版 物：《中国科技期刊数据库 工业A》 

年 卷 期：2025年第2期

页      码：020-023页

摘      要：半导体产业的高精度制造需求对大气机械手的控制提出了严苛要求。本文详细阐述了大气机械手控制器的设计与实现,包括硬件的选型和软件系统的设计,涵盖实时操作系统的应用、运动控制算法的设计、故障检测与报警功能等核心内容。通过实验测试验证所设计控制器的性能,结果 表明该控制器能有效满足大气机械手在半导体生产中的高精度、高速度、高稳定性等要求,有力推动大气机械手在芯片制造等关键环节的高效精准应用,显著提升半导体生产自动化水平与产品质量可靠性。

主 题 词：大气机械手 控制器 实时操作系统 半导体制造 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203158229...