影响真空溅射用射频电源特性因素的研究

作     者：孙小桃 郭金光 汪洪波 黄稳 陈长琦 SUN Xiao-tao;GUO Jin-guang;WANG Hong-bo;HUANG Wen;CHEN Chang-qi

作者机构：合肥工业大学真空科学技术与装备研究所安徽合肥230009 山东伯仲真空设备股份有限公司山东淄博255000 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2014年第51卷第1期

页      码：11-14页

摘      要：研究了用于真空溅射沉积射频电源的功率转换效率和频率稳定性的影响因素,分析了E类功率放大器和射频驱动级电路的工作特性。推演了最大输出功率公式,运用matlab对其归一化处理,得出最优占空比;在最优占空比条件下,根据射频电源功率放大器对射频驱动级电路的要求,设计了射频驱动级电路,提高了射频电源功率输出频率的稳定度。经电路实验测试,其结果显示,波形规整、稳定。

主 题 词：射频电源 E类功率放大器 占空比 稳定度 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-0322.2014.01.007

馆 藏 号：203159596...