流检漏仪用扩散泵的设计

作     者：徐成海 

作者机构：东北工学院沈阳110006 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：1991年第28卷第4期

页      码：32-35,61页

摘      要：逆流检漏仪用扩散泵属于特殊用途的扩散泵。它要求扩散泵对空气的压缩比大，对氦气的最大压缩比小。为满足这样的要求，设计了 Ｋ—６５Ｆ风冷金属油扩散泵。本文介绍了 Ｋ—６５Ｆ的特殊结构，论述了采用这种结构的理论依据。并运用真空物理中的理论，气体动力学理论和Ｊａｅｃｋｅｌ理论，对Ｋ—６５Ｆ泵作了性能分析，说明设计的合理性，证明这种结构的扩散泵能够满足逆流检漏仪的特殊要求。

主 题 词：检漏仪 扩散泵 设计 真空设备 检漏 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.1991.04.006

馆 藏 号：203159634...