尺寸效应对TiC/α-C∶H涂层织构行为的影响

作     者：苏亚东 王向明 王华明 郑伟涛 

作者机构：中航工业沈阳飞机设计研究所辽宁沈阳110035 北京航空航天大学材料科学与工程学院北京100191 吉林大学材料科学与工程学院吉林长春110032 

基　　金：国家安全重大基础研究资助项目(613XXX) 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2012年第43卷第18期

页      码：2536-2540,2545页

摘      要：利用磁控溅射法制备了TiC/α-C∶H纳米复合涂层尺寸效应,并对涂层择优取向的影响进行了研究。通过改变涂层中的C含量来调节晶粒尺寸,发现晶粒尺寸对晶粒的择优取向有着重要影响。随着晶粒尺寸减小,TiC的择优取向从面心立方(111)向(200)转变。这种择优取向的尺寸依赖效应可以用热力学来解释。通过计算与尺寸相关的吉布斯自由能解释了尺寸效应与涂层择优取向的关系。

主 题 词：TiC/α-C∶H纳米复合薄膜 尺寸效应 择优取向 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-9731.2012.18.025

馆 藏 号：203160131...