惯性冲击式压电微电机的研究

作     者：姜楠 刘俊标 方光荣 韩立 JIANG Nan;LIU Jun-biao;FANG Guang-rong;HAN Li

作者机构：中国科学院电工研究所 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2007年第29卷第2期

页      码：187-189页

摘      要：惯性冲击式压电微电机是近年来出现的一种新型驱动装置。阐述了微电机的工作原理和运动过程,提出了几种机械结构的设计方法并进行了对比,对微电机模型进行了动力学分析,设计了相关的驱动电源并进行了实验。经验证,设计的微电机工作性能稳定,最大运动速度为150μm/s。

主 题 词：惯性冲击式微电机 机械设计 动力学分析 微致动器 

学科分类：080801[080801] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2007.02.021

馆 藏 号：203160841...