连续波电光检测法用于检测超薄层异质结外延材料均匀性的研究

作     者：苏小元 朱祖华 

作者机构：苏州大学工学院电子系苏州215006 浙江大学信息与电子工程系杭州310027 

基　　金：国家自然科学基金 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：1997年第18卷第5期

页      码：350-355页

摘      要：本文以连续波电光检测法（CWEOP）为基本原理，设计完成了自动电光检测系统，并采用锁相放大技术，对超薄层异质结外延材料进行了电场分布的测试，由此对其均匀性进行了评估．通过实验探讨了超薄层异质结外延材料2DEG分布不均匀的电光检测标准、最佳测试条件等，并对影响测量结果的因素进行了分析．本方法的突出优点是能够无损地对超薄层异质结外延材料不均匀的2DEG进行定位．

主 题 词：分子束外延 连续波电光检测 异质结 外延材料 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

馆 藏 号：203160853...