压电型宏微双驱动精密定位系统点位协调控制

作     者：刘定强 黄玉美 谢礼 杨勇 Liu Dingqiang;Huang Yumei;Xie Li;Yang Yong

作者机构：西安理工大学机械与精密仪器工程学院西安710048 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50875209) 

出 版 物：《农业机械学报》 (Transactions of the Chinese Society for Agricultural Machinery)

年 卷 期：2011年第42卷第4期

页      码：220-223,233页

摘      要：设计了基于压电型微驱动器的宏微双驱动精密定位系统,宏动台由伺服电动机直接驱动,微动台由压电陶瓷驱动器和弹性铰链构成,并由压电陶瓷驱动器驱动。微动台安装在宏动台上,微动台和宏动台是串联关系。宏动台用于实现大行程微米级定位,而纳米级定位由微动台实现。利用基于运动控制卡的开放伺服功能来协调宏微工作台之间的控制,而位置反馈由两个高精度光栅完成,精度检测由激光干涉仪完成。当宏动台运动结束后,微动台根据测得的定位误差做出补偿进给。实验表明,在行程100 mm的范围内每隔1 mm采集一点,误差控制在±100 nm以内。

主 题 词：宏微驱动 弹性铰 压电驱动器 点位协调控制 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-1298.2011.04.044

馆 藏 号：203160997...