衍射光学元件加工中的对心研究

作     者：康福增 卢振武 李凤有 张红鑫 赵晶丽 张云翠 KANG Fu-zeng;LU Zhen-wu;LI Feng-you;ZHANG Hong-xin;ZHAO Jing-li;ZHANG Yun-cui

作者机构：中国科学院研究生院北京100039 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所传感器研究室吉林长春130033 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2005年第13卷第Z1期

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摘      要：为了解决平凸折衍混合透镜套刻加工中的对准问题,本文设计了一套进行套刻对准的实验路径。以机械轴为参考基准,使掩模板的环带中心和器件球面的对称轴分别与之对准,最终实现套刻过程中掩模板和器件对称轴的对准。最后根据加工实际情况进行了计算,对于口径是92 mm的衍射元件,得到的对准误差为2.125μm,能够满足系统的要求。采用计算机等辅助手段,可实现亚微米量级的对准精度。

主 题 词：对准 机械轴 干涉 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2005.z1.001

馆 藏 号：203161531...