结构参数对硅热流量传感器热性能的影响

作     者：高冬晖 秦明 

作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096 

基　　金：江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052) 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2004年第25卷第Z1期

页      码：45-46页

摘      要：基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型。在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流体沟道的关系;最后,给出了关于传感器尺寸的优化的结论。

主 题 词：硅热流量传感器 热模拟 ANSYS模拟 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0254-3087.2004.z1.020

馆 藏 号：203161547...