173 nm真空紫外光源的测试及分析

作     者：金晶 卜忍安 薛少丽 左丰国 张劲涛 Jin Jing;Bu Renan;Xue Shaoli;Zuo Fengguo;Zhang Jintao

作者机构：西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室西安710049 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室西安710049 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室西安710049 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室西安710049 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室西安710049 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2007年第27卷第z1期

页      码：62-64页

摘      要：通过自行设计的测量装置,用专用探测器对173 nm介质阻挡放电产生的紫外光进行辐照度的测试.对着火电压与pd值、紫外光源的辐照度之间的关系进行测量分析,并对试验中所用MgF2晶体的透过率进行测量和计算.实验结果表明:对于单个的紫外灯,当介质的厚度、气体气压均为常量的时候,介质阻挡放电强度随电压的增加而增加,放电强度呈非线性增加;在气体种类、介质材料的种类和厚度、电极材料的种类确定的情况下,紫外灯的点火电压与pd值会有一个最小值;在大气压下,通过特殊方法测得厚度为2 mm的MgF2晶体对173 nm真空紫外光的透过率为88%.

主 题 词：介质阻挡放电 紫外辐照度 着火电压 pd值 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2007.z1.016

馆 藏 号：203161612...