微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究

作     者：刘奎 苑伟政 邓进军 马炳和 姜澄宇 Liu Kui;Yuan Weizheng;Deng Jinjun;Ma Binghe;Jiang Chengyu

作者机构：西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 西北工业大学西安710072 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(90305017) 航空科学基金资助项目(04I53074,03I53066) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：202-204页

摘      要：应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数.结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计算,依据计算结果确定微型热敏传感器薄膜电阻的基体材料、薄膜材料和特征尺寸等参数,为微型热敏传感器的实际应用提供参考依据和分析方法.

主 题 词：微型传感器 热敏元件 薄膜电阻 电阻温度系数 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.069

馆 藏 号：203162232...