微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析

作     者：金大重 李昕欣 刘剑 于海涛 王跃林 左国民 李鹏 JIN Da-zhong;LI Xin-xin;LIU Jian;YU Hai-tao;WANG Yue-lin;ZUO Guo-min;LI Peng

作者机构：中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 

基　　金：国家重点基础研究发展规划项目资助(973计划2006CB300405) 国家自然科学基金项目资助(60376038) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2007年第20卷第1期

页      码：101-106页

摘      要：本文采用能量统计分布方法研究微机械悬臂梁的噪声模型,对热机械噪声理论模型进行了拓展和修正,使之适用于低温和高频条件.研究了温度、压力和频率对热机械噪声、温漂噪声和吸附-脱附噪声的影响.根据研究结果对静态检测悬臂梁和动态频率响应悬臂梁传感器进行了具体分析.对于静态下工作的微机械悬臂梁,振幅的随机变化取决于热机械噪声.对于工作在谐振状态的微米尺度悬臂梁,在室温常压下热机械噪声是主要的噪声机制;当尺寸进一步缩小至纳米尺度时,表面效应变得显著,吸附-脱附噪声成为主要的噪声机制.基于对不同情况下噪声特性的分析,对微机械悬臂梁传感器的优化设计规则进行了探讨.

主 题 词：微电子机械系统 噪声机制 微机械悬臂梁 分辨率 

学科分类：12[管理学] 083002[083002] 1204[管理学-公共管理类] 120402[120402] 0830[工学-生物工程类] 08[工学] 0837[0837] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2007.01.024

馆 藏 号：203162370...